2、接觸式測厚儀要為機械式測量的需要通過點與點之間,或面與面后通過位移差來測量厚度。
薄膜、薄片厚度測試又該如何去選擇?
1、非接觸式測厚設備對測試試樣都有一定的選擇性,例如激光式測厚儀在適合的領域中能達到較高的測量精度,但用于檢測表面有著不同光澤度的試樣時會有較大的測試誤差,同樣該方法的測厚儀對試樣是否透明以及材料表面平整度(薄膜表面看似平整,放大后都是呈現(xiàn)一定凹凸)也有著比較強的選擇性。電容或電渦流式的測厚儀對金屬及非金屬的測試有著較大的誤差??傊?,非接觸式測厚儀都有著自己擅長的檢測領域,在薄膜和金屬方面測試數(shù)據(jù)還是不能滿足的。
2、機械式測厚儀是一種接觸式測厚設備,多采用高精度傳感器,因為它的測試只和微小位移有關,所以對試樣沒有選擇性。按照薄膜厚度國標GB/T6672要求測量面必須保證對薄膜材料表面施加0.1N-0.5N負荷壓力,機械式測厚儀的測試精度主要取決于位移傳感器的精度,環(huán)境溫度和風速會影響傳感器的精度,因此必須在實驗室環(huán)境內使用。
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